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 飞秒激光精密微纳加工系统

产品分类 / 光学集成解决方案 / 飞秒激光精密微纳加工系统

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GLFs-META系列飞秒加工系统,主要针对于光学超材料/超表面周期性微纳结构加工的设备,可配置空间光调制器进行整形,实现多光束并行加工,提高加工效率,结合大尺寸位移台可实现大尺寸光学器件的加工。该系统可用于光场调控器件,太赫兹波调制器件,等离激元,微透镜,折射元件,三维非线性光子晶体,光栅/达曼光栅等超材料或超表面器件的加工。

GLFs-BMH系列飞秒激光加工系统,主要是针对利用贝塞尔光束技术加工的应用,如微孔加工。该系统配置空间光调制器进行光束整形,通过软件控制,产生的贝塞尔光束可实现高品质、大深径比的微孔加工。系统可应用于如航空航天燃气涡轮叶片上的气膜微孔、 高灵敏度传感器微孔结构、高灵敏器件的通孔制备、柔性电路板、发动机喷油嘴微孔等方面的加工的工艺探索研究。

GENLASER 开发的飞秒激光微纳加工系统,集成度高,体积小;使用轻质高强的工业级铝作为主体结构,保证了系统的稳定性的同时,也更便于运输;光路内置辅助模块,使得系统光更容易定焦,同时也简化了光路的调节。系统配置一体化的软件,操作简单,可以实时观察整个加工过程。加工系统支持各种定制,可满足不同应用的需求。主要应用在光纤光栅,光波导,光学超材料结构,微孔加工等方面,可拓展到其他微纳米结构加工制造,如微流控芯片,光栅,微透镜,柔性传感器,精密切割,材料表面处理等更多应用中。Genlaser开发的激光加工系统几乎可以应用在所有的微加工领域。

GLFs-FBG 系列飞秒激光加工系统,主要是针对光纤光栅(FBG)及光纤其他微结构加工的设备。具有稳定,操作灵活和高效等特性,设备集成度高,体积小,更方便运输和使用。系统通过一体化软件控制完成加工,不需要使用相位掩模版,有更高的灵活性,可用于逐点(PBP),加工精度可达到亚微米量级。

GLFs-OFLU系列飞秒加工系统,是主要针对光流控(Optofluidics)应用开发的一款精密加工设备,主要方向是光波导的加工。该系统具有高空间分辨率,可制备亚微米尺寸的超精细波导结构;加工过程更加灵活,针对不同的基材,如玻璃、晶体和光学陶瓷等透明材料,系统可制备二维和三维光波导,也可以实现光波导器件(如分束器、频率转换器和电光调制器等)的加工。

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