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飞秒激光光流控芯片加工系统

型号:GLFs-OFLU
产品说明

GLFs-OFLU系列飞秒加工系统,是主要针对光流控(Optofluidics)应用开发的一款精密加工设备,主要方向是光波导的加工。该系统具有高空间分辨率,可制备亚微米尺寸的超精细波导结构;加工过程更加灵活,针对不同的基材,如玻璃、晶体和光学陶瓷等透明材料,系统可制备二维和三维光波导,也可以实现光波导器件(如分束器、频率转换器和电光调制器等)的加工。

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